工艺布置应符合下列要求:
一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。
二、在满足生产工艺要求的前提下,空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房,空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置,靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。
三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧,易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线,并预留设备安装口和检修口。
五、应设置单独的物料人口,无尘车间价格,物料传递路线应较为短的,物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。
一般规定1.清洁厂项目建设完成后,应进行项目验收,分为竣工验收,功能验收和使用验收。确认性能参数符合设计,使用和相关标准规范的要求。 2,竣工验收由施工单位承担,并组织施工,设计,监理等单位验收。 3,功能验收应在竣工验收完成后进行,施工单位负责,并由具有相应检测资质的第三方进行检测。设计和施工单位合作。 4.验收试验应在功能验收完成后进行,无尘车间厂,施工单位负责具有相应试验资质的第三方或施工单位和第三方的试验。设计和施工单位合作。 5.清洁工厂工程验收的检查状态分为空状态,无尘车间厂家,静态状态和动态状态。完工验收阶段的检查应在开放状态下进行;功能接受阶段应在开放状态或静态状态下进行。应由施工方,设计方和施工方确定,并应在静态条件下进行;使用验收阶段的检查应在动态条件下进行。
如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方,如供暖,通风和空调(HVAC),过程冷却,无尘车间,压缩空气和一些其他设施。 HVAC系统消耗的电量**过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和HVAC容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径,尽可能地压缩初始投资,而不管后期的运营成本。高效的设计和高效的设备需要大量的前期投资。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。